隨著我國科技的進步，在國內臭氧技術行業大多采用高壓放電法制取臭氧，從結構上說有管式和板式兩種。早期的臭氧發生器大多采用工頻臭氧電源驅動，存在功耗大體積大等缺點。中頻臭氧電源的應用提升了臭氧發生器技術水準運行效率大幅度提高，中頻電源技術是上世紀60-70年代產品于當代技術還有差距。高頻臭氧電源驅動臭氧發生器效率高設備體積小，在小型臭氧發生器中應用廣泛。大型高頻臭氧電源設計和制造較為復雜，對材料和器件要求較高。
由于臭氧的氧化作用極強，能以比氯高出百倍的反應速度分解有機物，可有效防止氯與尿素化合成氯胺，同時又能氧化THM的前驅物，而使THM大大降低。臭氧分解后在水中形成的羥基能夠使多價金屬離子水解成膠體化合物，通過砂濾器而被過濾掉，不僅使水的感觀得到改進，又可去除水中被氧化分解的有機物。
我國在臭氧技術應用泳池水處理的作用
1、臭氧及其二次產物(如羥基)具有最強的殺菌性及滅活病毒的作用，可有效防止傳染性疾病的蔓延。實驗證明，同樣濃度的臭氧殺滅細菌和病毒的效果是氯的600-3000倍，在臭氧濃度為1mg/L時，糞型大腸桿菌的滅活只需要5秒，用同樣濃度的氯則需要15000秒。
2、屬于國際公認的環保型綠色殺菌劑，不會對環境造成任何二次污染。
3、用氯劑消毒時，從水中蒸發出來的氯代有機化合物以及氯氣等有毒氣體，聚集在泳池上方不易散去，損害人的呼吸器官，嚴重影響人們的身體健康，而使用臭氧則完全不會產生此種問題。
4、臭氧可有效分解水中的腐植質，氧化水中的鐵、錳離子，分解水中散射光線的微小有機體，從而大大提高水的清澈度，使水呈現出美麗的藍色，而氯制劑則無此效果。為使水呈藍色，使用氯制劑的泳池，往往需加入硫酸銅鹽，對人極為有害。
5、加入氯制劑后，必然會導致水的pH值的改變，使人感到不適，因而需加入堿性或酸性物質予以中和。而臭氧是中性物質，不會產生此種問題。
6、可大大降低水處理工藝的管理及操作難度，同時具有很高的安全性。而氯制劑在運輸、儲藏、使用時具有一定的危險性。
我國在臭氧技術應用水處理方面所取得的成果
2001年，青島某國際研究集團研究臭氧對水產養殖用海水的處理及循環利用，分別采用了500g/h 和200g/h 的空氣源臭氧發生器，取得了不錯的效果。
2003年，解放軍總裝備部工程設計總院張志仁采用臭氧對火箭推進劑廢水凈化處理的研究，并取得了突破性成果。
2004年，解放軍總裝備部工程設計總院張統博士與青島國林公司合作，應用臭氧處理含三硝基甲苯的炸藥廢水。
而目前采用臭氧技術也有雙風冷陶瓷臭氧技術和雙水冷搪瓷臭氧技術，深圳“森威環?！币踩〉孟鄳脑O計專利和歐盟CE認證，給我國在臭氧方面的技術得到進一步的提升。
